蒸汽流真空泵测试条件和程序步骤

1 试验气体

除另有规定外，应使用环境干燥空气。

1. 2 环境温度

除另有规定外，测试过程应在15~25℃的某一温度下进行，允许在±1℃内变动。

1 3 泵的加热和冷却

泵的加热功率及冷却条件，应符合制造厂的规定。测量前30 min 起，加热功率的变化应在±5%以内。

1. 4 泵液及前级泵

泵液的种类、牌号和用量以及配用前级泵，均应符合制造厂的规定。

2.测试方法和程序步骤

2.1原理

所采用的方法是“定压”法。在测试过程中，泵口吸入压力保持不变。实际上，测试罩内测得的压力保持不变，这个条件就认为满足了。

2.2 程序步骤

为测试抽气速率，应将测试罩、真空计和气体流率测量装置，按4.4 的要求装配到被测泵上。在气体流率测量装置与测试罩之间，设置一个具有适当调节范围的进气微调阀。

按第5章规定条件泵正常工作，关闭进气微调阀，抽空测试罩。达到或接近极限压力，并且泵达到平衡温度。

测量气体流率之前，应先通过滴管内液位的升降动作，使内壁润滑。并进行测试装置的气密封性检漏试验。微调阀到滴管之间不得漏气。

开启微调阀，使气体进入测试罩内。在所需的泵口吸入压力范围调节压力。按算术平均值读取压力值。流率测试前应使系统达到压力平衡状态。

抽气速率（体积流率）测试过程，应从最低吸入压力开始逐点进行（每个数量级内至少测五点，约在1.6，2.5，4，7和10）。但对增压泵，则从最高吸入压力开始进行系列测量。对每个测量点，应尽可能同时测得泵口吸入压力、环境大气压力和气体流率。如果向测试罩输入气体时间超过60 s，则压力测量应以60 s 为一个周期，取平均值。如果输入气体进行中的压力读数波动过大，最高与最低值之差超过10%，则测量操作应重新进行。

不同压力点两次气体流率测量之间的时间间隔，最小为2 min。

气体流率及抽气速率的测试与计算方法详见本标准的附录A（标准的附录）。

3.测试结果

测试结果以坐标曲线表示：

a) 抽气速率（体积流率）与吸入压力的关系曲线。横坐标为对数坐标，表示吸入压力。其范围从极限压力直到大气压力或适合于泵的设计要求的其他压力范围。纵坐标为直线坐标，表示抽气速率。

b) 气体流率与吸入压力的关系曲线。在对数坐标图上，横坐标表示吸入压力，纵坐标表示气体流率。